我國(guó)平板顯示器件研究又獲新成果

　　2006年12月21日，由長(zhǎng)春應(yīng)化所承擔(dān)的吉林省科技發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“有機(jī)TFT器件研究”通過(guò)吉林省科技廳組織的專家驗(yàn)收。

平板顯示技術(shù)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中占有重要位置，是國(guó)際高技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的一個(gè)焦點(diǎn)。有機(jī)TFT（OTFT，Organic Thin-Film Transistor）即有機(jī)薄膜晶體管，它的作用與非晶硅TFT相同 ，是平板顯示的關(guān)鍵技術(shù)。國(guó)際上開展OTFT材料與器件研究已近20年，其鮮明的技術(shù)特點(diǎn)是加工溫度低于200^oC，不但是平板顯示的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，而且也是發(fā)展新概 念柔性顯示和塑料IC的關(guān)鍵技術(shù)，國(guó)際大公司和著名研究機(jī)構(gòu)紛紛投入研發(fā)。但是，如何設(shè)計(jì)與加工高功能的器件兼具廉價(jià)加工工藝，如何設(shè)計(jì)與合成兼具高遷移率和優(yōu)異環(huán)境穩(wěn) 定性的有機(jī)半導(dǎo)體材料，仍然是該領(lǐng)域目前迫切需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題。長(zhǎng)春應(yīng)化所于2002年在省科技廳的支持下承擔(dān)了吉林省科技發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“有機(jī)TFT器件研究”，利用在有機(jī) 光電材料研發(fā)上的優(yōu)勢(shì)，經(jīng)過(guò)5年的不懈努力，在器件加工工藝、有機(jī)薄膜制備和材料合成關(guān)鍵環(huán)節(jié)上取得突破，發(fā)展出了具有容易集成加工和高功能性優(yōu)點(diǎn)的系統(tǒng)技術(shù)和新型有機(jī) 晶體管器件。為我國(guó)OTFT平板顯示技術(shù)的進(jìn)一步開發(fā)拓展出空間。

　　該項(xiàng)目針對(duì)OTFT綜合性能提高和OTFT-LCD集成的需要，采用有機(jī)半導(dǎo)體金屬酞菁和新型器件結(jié)構(gòu)，對(duì)提高遷移率、穩(wěn)定性和集成加工工藝進(jìn)行了有成效的探索和研究。研制出 全光刻工藝制備的積累型OTFT器件，遷移率達(dá)到0.2cm²/Vs,開關(guān)電流比達(dá)到10⁷，工作壽命超過(guò)5千個(gè)小時(shí)。綜合性能指標(biāo)超過(guò)國(guó)際上報(bào)道的同類光刻工藝O TFT的性能，是全光刻工藝制備的累積型OTFT國(guó)際領(lǐng)先水平。并制備出了3英寸200×160和64×64象素的OTFT-LCD原型器件。

該項(xiàng)目注重發(fā)展自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。在有機(jī)半導(dǎo)體材料、絕緣柵材料和OTFT器件結(jié)構(gòu)、集成器件和集成加工工藝方面取得系統(tǒng)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。