中科院蘇州納米所崔錚研究員訪問(wèn)應(yīng)化所

崔錚研究員做報(bào)告

1月14日，應(yīng)中科院長(zhǎng)春應(yīng)用化學(xué)研究所高分子物理與化學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室馬東閣研究員的邀請(qǐng)，中科院蘇州納米所崔錚研究員訪問(wèn)應(yīng)化所，并做了題為“微納米加工技術(shù)的過(guò)去、現(xiàn)在與未來(lái)”的學(xué)術(shù)報(bào)告。

自1959年第一個(gè)平面晶體管集成電路問(wèn)世以來(lái)，微納米加工技術(shù)已經(jīng)經(jīng)歷了50年發(fā)展歷史。在過(guò)去的50年中，微納米加工技術(shù)已經(jīng)從單一的集成電路加工發(fā)展成為微系統(tǒng)與MEMS加工，以及納米加工等應(yīng)用廣泛的一門技術(shù)，成為當(dāng)今微納米技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。

崔錚研究員在報(bào)告中回顧了微納米加工技術(shù)近20年的發(fā)展歷史，比較了一些常用微納米加工技術(shù)的特點(diǎn)，總結(jié)了目前微納米加工技術(shù)的加工能力和極限，并展望了未來(lái)微納米加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。

崔錚研究員1988年畢業(yè)于南京東南大學(xué)，獲博士學(xué)位。1989年應(yīng)英國(guó)科學(xué)與工程研究委員會(huì)邀請(qǐng)并全額資助，到英國(guó)劍橋大學(xué)微電子研究中心做訪問(wèn)研究員(Visiting Fellow)。1993年應(yīng)聘英國(guó)盧瑟福國(guó)家實(shí)驗(yàn)室微結(jié)構(gòu)中心高級(jí)研究員。自1999年起任英國(guó)盧瑟福國(guó)家實(shí)驗(yàn)室微結(jié)構(gòu)中心微納米技術(shù)首席科學(xué)家 (Principal Scientist，GroupLeader)。主要研究領(lǐng)域?yàn)槲⒓{米加工技術(shù)及其應(yīng)用。2009年9月加盟中科院蘇州納米所。目前擔(dān)任中科院蘇州納米所印刷電子技術(shù)研究中心（籌）主任，交叉學(xué)科研究部主任。

崔錚研究員在英國(guó)工作20年中先后參加了數(shù)十項(xiàng)歐洲與英國(guó)研究項(xiàng)目，應(yīng)邀擔(dān)任歐洲第六、第七框架研究計(jì)劃的評(píng)審專家，英國(guó)國(guó)家科研項(xiàng)目評(píng)審專家，并應(yīng)邀為20多種學(xué)術(shù)雜志評(píng)審論文；目前為英國(guó)物理學(xué)會(huì)會(huì)員，英國(guó)工程技術(shù)學(xué)會(huì)（IET）資深會(huì)員（Fellow）。2002年受聘為中國(guó)科學(xué)院海外評(píng)審專家。2004年獲中國(guó)科學(xué)院海外杰出學(xué)者基金。2007年參加中科院物理所納米電子材料與器件海外合作團(tuán)隊(duì)。先后獨(dú)立與合作發(fā)表學(xué)術(shù)論文190余篇。獨(dú)立撰寫(xiě)并出版專著4部（中英文各兩部）。最新專著“微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用（第二版）”于2009年6月由高等教育出版社出版。